技術的パラメータ
構成 | コンテンツ | CAS番号 |
純水 | 85~90% | 7732-18-5 |
安息香酸ナトリウム | 0.1~0.2% | 532-32-1 |
界面活性剤 | 4~5% | ∕ |
その他 | 4~5% | ∕ |
製品の特徴
1、高い環境保護レベル:TMAHなどの有機塩基を使用せずに選択エッチングが可能です。
2、低製造コスト:NaOH/KOHをエッチング液として使用するため、酸研磨やエッチングプロセスよりもコストが大幅に低くなります。
3、高いエッチング効率:酸研磨およびエッチングプロセスと比較して、電池効率が0.15%以上増加します。
製品の用途
1、この製品は一般に Perc および Topcon バッテリープロセスに適しています。
2、210、186、166、158仕様の単結晶に適しています。
使用説明書
1、タンクにアルカリを適量(KOH/NAOH体積比で1.5~4%)添加します。
2、本品をタンクに適量(体積比で1.0~2%)添加します。
3、研磨槽液を60~65℃に温めます。
4、裏面PSGを除去したシリコンウェーハを研磨槽に入れ、反応時間は180秒~250秒です。
5、片面あたりの推奨重量損失: 0.24-0.30g (210 ウェーハソース、他のソースは等しい割合で変換) 単結晶および多結晶 PERC 太陽電池
予防
1、添加物は光を避けて厳重に保管する必要があります。
2、生産ラインが生産していないときは、30分ごとに液体を補充および排出する必要があります。2 時間以上生産がない場合は、液体を排出して補充することをお勧めします。
3、新規ラインのデバッグでは、生産ラインの各プロセスに基づいてDOEを設計し、プロセスのマッチングを実現し、効率を最大化する必要があります。推奨プロセスはデバッグで参照できます。
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